アカザワ　ジュン   AKAZAWA JUN
  赤澤　淳
   所属   保健医療学部 柔道整復学科
   職種   講師
発表年月日 1999/03
発表テーマ 高出力パルスレーザによる超純水中の微粒子検出の高効率化
会議名 応用物理学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭（一般）
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 斉藤　光徳，　赤澤　淳，　泉田　信也
概要 半導体製造工程などで使用される超純水中の微粒子を高感度に検出する方法が求められている．測定法の一つとして，微粒子を高出力パルスレーザで破壊してそのとき発生する音響パルスを検出するレーザブレイクダウン法が注目されている．この方法は，高感度に微粒子を検出できるが，レーザビームの焦点位置に微粒子がいなければ検出できないので，検出効率が悪いという問題が残されている．この問題を解決するため，超音波定在波により微粒子を凝集させてレーザブレイクダウンの効率を上げることを試みた．