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ヨシカワ タカシ
YOSHIKAWA Takashi
吉川 隆士 所属 ノートルダム清心女子大学 情報デザイン学部 情報デザイン学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 1995/02 |
| 形態種別 | 研究論文（学術雑誌） |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | 650nm AlGaInP Visible Light Laser Diode with Dry-etched Mesa Stripe
650nm可視光半導体レーザのドライエッチング形成メサ構造（査読付） |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics (JJAP-part1), Vol.34, No.2B, pp.1273-1278 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 概要 | （筆頭）赤色LDであるAlGaInP-LDでは、メサエッチングを活性層上部0.25μm±0.02μmで止める精度が必要である。また短波長化のため傾斜基板が使用され、ウェットエッチではメサが傾斜してしまう。そこで制御性、異方性に優れる ドライエッチングを用いることが有効である事を実際の素子を作製し実証した。
6頁 共著者：T. Yoshikawa, Y. Sugimoto, H. Hotta, K. Tada, K. Kobayashi, F. Miyasaka, and K. Asakawa 本人担当部分：アイデア創出、実験、評価、論文全文執筆を共著者との議論を交えつつ実施 |