|
ヨシカワ タカシ
YOSHIKAWA Takashi
吉川 隆士 所属 ノートルダム清心女子大学 情報デザイン学部 情報デザイン学科 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 1994/06 |
| 形態種別 | 研究論文（学術雑誌） |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | （和文）Ⅲ/Ⅴ族半導体のCl2-ECRプラズマエッチングおよびその光素子への応用（査読付） |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 電子情報通信学会 論文誌C (エレクトロニクス) Vol.J77-CI, No.5, pp.260-267 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 概要 | （筆頭）InP/InGaAsP長波レーザ、GaInP/AlGaInP可視レーザ、InGaAs/GaAs面発光レーザの作製を通して、RIBEの平滑性、制御性、均一性、微細性を調べた。InPエッチングの平滑性は1.4nmと良好で、PBH-LDEウェットと同等の特性を得た。AlGaInPエッチングの制御性はσ=22nmと良好で面内均一性も2インチウェハーで2.3%と優れており、レーザの閾値も均一性が良好であった。
8頁 共著者：吉川 隆士、河本 滋、杉本 喜正、浅川 潔 本人担当部分：アイデア創出、実験、評価、論文全文執筆を共著者との議論を交えつつ実施 |