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ヨシカワ タカシ
YOSHIKAWA Takashi
吉川 隆士 所属 ノートルダム清心女子大学 情報デザイン学部 情報デザイン学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 1994/06 |
| 形態種別 | 研究論文（学術雑誌） |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Uniformity Improvement of Optical and Electrical Characteristics in Integrated Vertical-to-surface Transmission Electro-photonic Device with a Vertical Cavity
二次元集積垂直共振型光デバイスの光・電気特性の改善（査読付） |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics (JJAP-part1), Vol.33, No.3A, pp.1352-1356 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 概要 | 2次元集積インターコネクションを実現するためには素子の電気的、光学的諸特性の均一化が重要になる。制御性の良い反応性イオンビームエッチングとセルフアラインプロセスを採用する事で、電気特性、光学特性とも、従来の素子に比較して、ばらつきが半分以下に抑えられた。
5頁 共著者：K. Kurihara, T. Numai, T. Yoshikawa, H. Kosaka, M. Sugimoto, Y. Sugimoto, and K. Kasahara 本人担当部分：実験の一部を担当し共著者間で技術的な議論を実施 |